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전자소재용 프로세스케미컬

전자소재용 프로세스케미컬
반도체, 디스플레이 핵심 제조공정용 화학소재인 프로세스케미컬은 각 공정의 수율에 절대적인 영향을 미치는 필수 화학소재이며 원료 정제(Purification)기술, 재생(Recycle)기술, 배합(Formulation)기술 및 계면활성제 응용 기술을 기반으로 하고 있습니다.
식각액
식각액은 반도체, 디스플레이 제조공정 중 습식식각(Wet Etching) 공정에 사용되는 소재입니다. 디스플레이 제조 공정에서는 주로 금속막을 제거하여 패턴을 만드는 공정에 사용되고, 반도체 제조공정에서는 실리콘 산화막 또는 질화막을 제거하는 용도로 많이 사용됩니다.
세정액
세정액은 반도체, 디스플레이 제조공정 중 발생하는 잔여물, 파티클 등을 제거하는 역할을 합니다. 반도체, 디스플레이 제조공정 중 리소그래피 패턴이 날로 미세화됨에 따라 세정의 중요성은 갈수록 부각되고 있습니다.